日本Horiba STEC SEC-E40MK3气体质量流量控制器主要用途为制程用的气体流量控制、根据关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
日本Horiba STEC SEC-E40MK3气体质量流量控制器产品简介:
MARK3系列是在未改变质量流量控制器所须品质特性的条件下*底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
日本Horiba STEC SEC-E40MK3气体质量流量控制器产品特点:
高精度、流量设定后快速应答(1秒之内)。
具有自动调零功能。