日本JIMA RT RC-04B 是一款采用蕞新半导体光刻技术制造的分辨率测试图。它用于校准和监控系统分辨率,确保您的微焦点或纳焦点 X 射线检测系统获得高质量的检测结果。
日本JIMA RT RC-04B分辨率测试卡产品简介:
日本JIMA RT RC-04B 是一款采用蕞新半导体光刻技术制造的分辨率测试图。它用于校准和监控系统分辨率,确保您的微焦点或纳焦点 X 射线检测系统获得高质量的检测结果。该测试图包含 23 条 T 形线,每条线包含 7 个间距,间距范围从 0.1µm 到 10µm。此测试图随附一个收纳盒(无需额外付费),使用时请将其从收纳盒中取出。
线条图案:
线宽/间距:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、10、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0、7.0、8.0、9.0、10.0 µm

芯片横截面:
钨色图表绘制在一块6.25毫米见方的硅芯片上。该芯片固定在一个30 x 40毫米的铝制底座上,并用PET薄膜覆盖以保护芯片。
