日本Horiba STEC SEC-E40气体质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置,用于宽广范围的流量控制,其控制范围可以从0.2 SCCM到1000 SLM(以N2为标准)。
日本Horiba STEC SEC-E40气体质量流量控制器产品简介:
HORIBA STEC质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响,如需要准确测定时,须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候,不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在须对流量进行准确计测和控制的领域,质量流量控制器被广泛的使用,例如半导体工业、太阳能光电工业和微电子加工制造业等。
提供多气体,多量程的解决方案,是销量很多的气体质量流量控制器。高精度,快速响应,轻巧的尺寸。全金属密封,橡胶密封
适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,低成本:产品系列中有力求具有成本优势的型号:SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60
用于宽广范围的流量控制,其控制范围可以从0.2 SCCM到1000 SLM(以N2为标准)
日本Horiba STEC SEC-E40气体质量流量控制器应用领域:
化工/石化/石油/天然气
医药/生命科学
食品饮料
LED FPD
冶金
电力能源及水处理
造纸
环境保护及控制
汽车
半导体/光伏
微电子
EPC及系统集成商