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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。


日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器产品简介:

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需准确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。


日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器产品特点:

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

1.适用于高温:可满足150℃烘焙

2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号

3.超清洁类型:接气部全不锈钢构造

4.适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制



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