日本Horiba STEC UR-714气体质量流量控制器气体接触面的全金属制造,使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
日本Horiba STEC UR-714气体质量流量控制器产品简介:
UR系列产品为使用高精度压力传感器及*效,响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造,使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精细液体流量控制里是非常有名的,以及拥有很大的市场份额。