Pfeiffer ASM 390 氦气检漏仪是一款移动式检漏仪，针对从小量到大量测试进行了优化，性能良好。ASM 390 配备一台无油高功率备用泵，流量高达 35 立方米/小时。
德国Pfeiffer ASM-390 氦质谱检漏仪产品简介：
Pfeiffer ASM 390 氦气检漏仪是一款移动式检漏仪，针对从小量到大量测试进行了优化，性能良好。ASM 390 配备一台无油高功率备用泵，流量高达 35 m³/h。氦气抽速高达 10 L/s，确保了有效的测试。Pfeiffer ASM 390 氦气检漏仪设计紧凑，在嗅探模式下氦气蕞小可检测泄漏率为 1 × 10⁻⁹ Pa ·m³ / s，在真空模式下蕞小可检测泄漏率为 1 × 10⁻¹³ Pa ·m³ / s。其大型彩色触摸屏可完全旋转和拆卸，方便技术人员轻松操控显示。直观的菜单和用于存储测试数据的集成式 SD 存储卡也是 Pfeiffer ASM 390 氦气检漏仪的关键组件。
德国Pfeiffer ASM-390 氦质谱检漏仪产品特点：
• 干式清洁泵，具有高备用容量(35 m³/h)
• 大型可旋转彩色触摸显示屏，集成工具箱和存储空间
• 紧凑且符合人体工程学的设计，方便进入所有测试区域
• 启动迅速，泵送速度快，适用于洁净环境中的高要求应用
德国Pfeiffer ASM-390 氦质谱检漏仪产品应用：
• 汽车与交通运输：泄漏检测与下线(EoL)测试
• 电池：泄漏检测与下线(EoL)测试(主系统)
• 化工：泄漏检测
• 显示器：预抽真空室(Load Lock)、等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)、物理气相沉积 (PVD)
• 氢能经济：泄漏检测与下线(EoL)测试(主系统)
• 医疗：医疗器械泄漏测试
• 制药与生物技术：泄漏检测
• 研发：高能物理、泄漏检测
• 制冷与空调：泄漏检测与下线(EoL)测试
• 半导体：LPCVD / 扩散、高流量应用、去胶 / 灰化、PVD、检测与量测、多晶硅刻蚀、光沉积、离子注入、PECVD、光刻、金属与高K(High-k)材料刻蚀、氧化层刻蚀、预抽真空与传输 (Load Lock & Transfer)、钴、WCVD、TiN 及 TDMAT、ALD、退火
• 工业气体：液化、绝缘真空、气体输送、气瓶充装
• 薄膜涂层：实验室涂层
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