入口/出口直径

6.4 mm

9.525 mm

22mm ISO渐缩

12.7 mm

19.1 mm

气体校准

空气、O2 、N2(41403还包括N2O)

空气、O2 、N2(41433还包括N2O)

空气、O2 、N2 、空气和 O2 的混合气体

LCD 显示单位

L/min，Std L/min，cm3 /min,Std cm3 /min

L/min，Std L/min

流量测量

范围

0.01~20 Std L/min

0 ~300 StdL/min

0 ~200 StdL/min

0 ~300 StdL/min

误差

空气和 O2 : 读数的± 2% 或 0.005 StdL/min,较大值

N2 O,N2 : 读数的± 3% 或 0.010 Std L/min,较大值

空气和 O2 ：读数的±2%或 0.05 Std L/min,较大值

空气 /O2 混合气体,N2 ：读数的± 3% 或 0.1 StdL/min,较大值

响应时间

4ms(满量程的 63%)

4ms (满量程的 63%)

尺寸

127 × 49 × 32mm

182 × 63 × 53mm

体积测量*

范围

0.01~99.9 L

误差

读数的± 2%

压力测量

范围

50~199 kPa (*对压强)

误差

± 1kPa

响应时间

<4ms(63% *终值，阶跃变化)

温度测量

范围

0~50℃

误差

± 1℃(流量大于 1 Std L/min)

响应时间

<75ms(63% *终值，阶跃变化)

模拟输出

0~10V 直流，仅流量。跨度可调(通过 RS232)

数字输出

RS232

直流电源输入

7.5 ± 1.5V，电流峰值 300mA

入口/出口直径

6.4 mm

9.525 mm

22mm ISO渐缩

19.1 mm

气体校准

空气 y=1、O2 y=2、N2 y=6( 订购时请通过 y 值来选择空气、O2 或 N2 )

流量测量

范围

0.01~20 Std L/min

0 ~300 Std L/min

误差

空气和 O2 ：读数的± 2% 或 0.005 Std L/min,较大值

N2：读数的± 3% 或 0.010 Std L/min,较大值

空气和 O2 ：读数的± 2% 或0.05 Std L/min,较大值

空气 /O2 混合气体,N2 ：读数的± 3% 或 0.1 Std L/min,较大值

响应时间

4ms(满量程的 63%)

尺寸

127 × 49 × 29mm

182 × 63 × 38mm

体积测量*

范围

0.01~99.9 L

误差

读数的± 2%

温度测量

范围

0~50℃

误差

± 1℃(流量大于 1 Std L/min)

响应时间

<75ms(63% *终值，阶跃变化)

模拟输出

0~4VDC，仅流量。跨度可调(通过 RS232)

数字输出

RS232

直流电源输入(用户提供)

5.0VDC ± 0.25V，电流峰值 300mA

推*过滤器

HEPA 级别的过滤器

附件

RS232 和模拟输出接口电缆