DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机配有真空腔，射频电源，真空泵，控制系统，流量控制系统。
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机产品简介：
设备简介：
1、真空腔
采用进口材料制作而成，焊接无漏气，*优化 8 层电*设计合理利用空间，专业等离子发生方式，绝缘可靠良好。
2、射频电源
*全可靠的射频电源(13.56MHz)，为等离子的产生提供保障。
3、真空泵
快速静音抽真空系统设计，真空度可至 10pa 以内，保证设备使用的各个需求压力。
4、控制系统
PLC+触摸屏自动控制系统设计，方便客户使用和操作。
5、流量控制系统
专业闭环流量控制系统，保证工艺气体的准确，确保等离子的效果的稳定。
装机前准备：
1、压缩空气：≥0.5mpa，ø6mm PU 管
2、工艺气体：AR&O2(纯度：≥99.999%)0.15～0.25mpa，ø6mm PU 管
3、废气排放：ø50mm 接口
4、主电源：≥ 4mm2 电源线(三相五线)，5.7KW Main
设备工作流程：
1、真空抽取：将产品放置腔体内，关上腔体门，打开真空泵，将真空腔内气压从常压抽至 30pa(自行设置)以内;
2、添加工艺气体：将准确流量的工艺气体添加至真空腔室内，均匀分布;
3、产生等离子：射频电源提供能量电离真空腔内的工艺气体，形成等离子体;
4、产品处理：根据设置时间处理产品的等离子处理时间;
5、破真空：产品处理完成后，打开破真空电磁阀，将真空腔压力恢复至常压取出产品。
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