德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。该款测振仪可实时测量,无需数据后处理。
德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪产品简介:
德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。系统具有高灵活性和精度,以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供准确的三维动态和静态响应数据,在降低开发和制造成本的同时提高产品性能,从而缩短设计周期,简化故障处理,提高产品产量。
德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪产品特点:
集多功能于一体的光学测量工作站
实时测量,无需数据后处理
无法比拟的亚pm位移分辨率
测量速度快,振型可视化显示
操作界面直观友好
全自动化测量,易于集成至商用探针台上
德国Polytec MSA-600显微式激光测振仪典型应用:
微型结构的面外振动,测量单点振动或者两点间的相对振动:
如:梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等
微型结构的面内振动:
如:梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动
微型结构的表面形貌:
如:梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌