德国Polytec MSA-100-3D显微式测振仪可在大带宽范围内实时测量被测物体的动态特性，分辨率高，同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量。

德国Polytec MSA-100-3D显微式测振仪产品简介：

MEMS系统的3D振动测量：

实物的振动通常是三维振动。虽然可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，在其它空间方向也存在运动分量。 MSA-100-3D显微式激光测振仪可在大带宽范围内实时测量被测物体的动态特性，分辨率高，同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。

德国Polytec MSA-100-3D显微式测振仪产品特点：

实时振动测量，高达25MHz的大带宽

用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级

单点式和全场扫描式振动测量

激光光斑小于4μm，横向分辨率高

测试距离大，可达38mm

可与常见的MEMS商用探针测试台兼容

德国Polytec MSA-100-3D显微式测振仪典型应用：

惯性传感器，如加速度计和陀螺仪

微机电传感器和致动器 (MEMS)

打印机喷墨头

压力传感器薄膜

耳机、微型镜头等